设备型号
K570
测试内容
喷金、喷碳
主要参数
(1)溅射面积:直径64mm、最大放置样品数量16个;
(2)最大电流:100mA;
(3)最高真空度:≤0.01Torr
如有需要可与山东省材料学会联系
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