高低真空扫描电镜

设备型号

测试内容

主要参数

(1)高真空分辨率：3.0nm；
(2)低真空分辨率：4.5nm；
(3)放大倍数：×18~300,000倍；
(4)加速电压：0.5kv~30kv；
(5)低真空度：1~270Pa。